Etude et modélisation des décharges radiofréquences basse pression à couplage capacitif
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Date
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
UMMTO
Abstract
Description
69 f. : ill. ; 30cm+(CD-ROM)
Keywords
Equation de Boltzmann, Différences finies, Plasmas d’argon, Décharge luminescente RF